?

Log in

Мы приступили к изготовлению установки, которая сможет наносить покрытия из металлов и диэлектриков как на плоские подложки, так и на порошки. Порошки - хотите микро, хотите - нано :) В вакуумной камере будет находиться устройство для перемешивания порошков, чтобы покрытия наносились более-менее равномерно. Расстояние от магнетрона до образцов регулируется. Есть ионный источник для подготовки поверхности.

камера_порошки2
Рисунок4_
Рисунок1_
Рисунок2_
Рисунок3_
Скрины расчета и примеры результатов расчета с двумя насосами, входом и выходом газа. Показаны начальные стадии, потом пробные частицы "замазывают" картинку. На зависимости от времени показано сравнение расчета и измеренного вакуумметрами (отнормировано). На зависимости от расстояния видны "ступеньки" в частях камеры, где разный вакуум.

Закажите у нас вакуумную камеру.

IMG_8510_1

1) по чертежам заказчика. Чертежи могут быть не полностью оформлены, на электронном или бумажном носителе. AutoCad, SolidWorks  и т.д.

2) Вы можете выбрать одно из готовых решений. Цилиндрические и прямоугольные. На высокий, средний и низкий вакуум - различные конструкции, различные цены. Оборудуем дверью, смотровыми окнами, стандартными и не стандартными фланцами, вводами движения, электричества, воды или газа.

3) По эскизу. Вам достаточно прислать сканированный набросок на бумаге того, что Вы хотите. Наш сотрудник свяжется с Вами для уточнения техзадания. Инженер компании нарисует вариант камеры в конструкторской программе, внесет по согласованию необходимые изменения. На цену влияет обработка поверхности, необходимые допуски на параллельность поверхностей, углы выставления патрубков и др. После обсуждения конструкции, цены и срока изготовления мы заключим договор.

Сразу после этого конструктор выполнит деталировку камеры, при необходимости согласует выбор технических решений и мы приступим к изготовлению.

Традиционная обработка поверхности - электрохимполировка.

Производится тестирование камер на вакуум, на гелиевом течеискателе.

Пользуясь специальной программой, написанной в свое время в ИЯФ СОРАН можем рассчитать методом Монте-Карло (пробных частиц) распределение давления в камере, подобрать откачку... Обратите внимание, что в программу вводится реальная геометрия в миллиметрах. Можно "установить" несколько высоковакуумных насосов, проверить дифференциальную откачку. Виртуальные "вакуумметры" можно расположить например вдоль оси ионного или электронного пучка и рассчитать взаимодействие пучка с газом.

Рисунок3

Нами разработан вакуумметр для измерения локальной плотности газа (вакуума).
Его можно использовать для измерения распределения плотности в струе газа.


Можно использовать как обычный ионизационный вакуумметр. Можно измерить вакуум в укромных уголках установки, например вблизи кольца газонапуска, возле мишени магнетрона или в ионном источнике. Низкие токи утечки по изолятору. Миниатюрный размер, объем области ионизации меньше кубического сантиметра. Специально симметризованная и прозрачная для газа конструкция, чтобы меньше возмущать струю газа в вакууме. Ищем партнеров или заказчиков, кому такой вакуумметр может понадобиться.

Приведены распределения плотности в импульсной струе аргона, вытекающего из трубки Ø1см, длиной 44 см в вакуум.

P= I. 3.3.104 Pa/AРисунок1

Приглашаю к обсуждению тем, связанных с созданием вакуумных установок. И не только вакуумных. Особенно большой опыт у нас в создании установок на заказ для науки или обучения студентов. Компоненты делаем в Сибири, или импортные используем. Можем изготовить вакуумную камеру в Новосибирске, а можем на Тайване или в Канаде, в Америке.



Буду рассказывать о наших уже реализованных проектах, о сырых идеях. Выкладывать фото.